УДК 681.2
В статье приводится описание метода цифровой мультиэнергетической рентгенографии, который позволит повысить эффективность контроля качества изделий микроэлектроники за счет существенного повышения качества формирования рентгеновских изображений с неоднородной структурой и точности разделения изображений их функциональных узлов.
The method of digital multienergy radiography which will allow to increase the efficiency of quality control of microelectronics products by the essential improvement of the quality of X-ray images with heterogeneous structure and the accuracy of image separation of functional node is given in the article.